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激光干涉仪进行平面度测量的应用

2017-02-13

  有许多客户致电龙8仪器,问我们公司的激光干涉仪能够检测设备的平面度或者平台的平面度吗?激光干涉仪在进行平面度测量的时候,是怎样的工作原理?是通过什么方法来实现平面度测量的?该仪器是怎样计算得到被测平台的平面度的?带着这些疑问,龙8仪器一一来为您解答。
 
检测前工作,先将附件放在平台不同位置
1>平面度测量的工作原理:
  激光干涉仪测量平面度是在角度测量原来的基础上进行延伸,先使用角度测量的附件记录平台上各平面位置的角度,再将其转变为各平面位置的高度变化。
 
仪器测量对角线立体图
 
仪器测量对角线平面图
2>测量平面度的方法及图解:
  当需要测量一个平台的平面度时,需要先在平台上采集若干条测量直线,测量平面度的方法为:对角线测量法(又称为米字法),当激光头处于G点处时,光线射向E点时,参考使用EA、CA、DH、EG、AG、BF、CE、GC的顺序点进行测量。
 
3>激光干涉仪是怎样计算得出平面度的?
    激光干涉仪是先通过附件测量记录下平台各位置的角度,再转变为高度变化值,最后计算机自带的检测软件计算得出平台整体的平面度。
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