螺纹综合测量机采用接触式扫描原理,螺纹中径的测量不确定度要达到(2.5+L/200)um,一台结构比较复杂的精密测量仪器,是如何达到这一测量精度的呢?其重要技术之一,就是通过T型高精密气浮轴承系统驱动测针与被测螺纹进行接触扫描(T型气浮导轨运动平台包含垂直轴Z和水平轴X气浮导轨系统),这是实现螺纹轴向轮廓精确扫描的基础。
气浮导轨实物
螺纹综合测量机采用无磨损、超低摩擦力的高精度T型气浮导轨系统,保证系统稳定、可靠地工作。创新设计的气浮轴承正负压控制系统,自主研发的超精密花岗岩导轨加工、气浮轴承加工工艺,为气浮轴承系统提供非常高的气膜刚性,导轨无磨损、超低摩擦力,实现了测量系统的重复定位精度高、使用寿命长、稳定性好等特点。
正交的(X轴和Z轴)气浮系统示意图
高精度气浮系统可达到如下测量精度:
- 行走线性精度1um;
- 重复定位精度0.3um;
龙8螺纹综合测量机与进口仪器导轨系统的区别