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激光干涉仪的得力小帮手——环境补偿单元

2016-12-28

  说了那么久激光干涉仪,不知道读者们有没有注意到一个小东西,激光干涉仪的配套设备里面始终有一个身影经常出现,那就是“环境补偿单元”,在以往演示激光干涉仪时,大部分都是围绕激光头和镜组的架设进行介绍,而“环境补偿单元”这个小物件就被一带而过。所以有些读者心里会有疑问:激光干涉仪不是直接测量被检机床等设备的相关精度参数的吗?还要这个环境补偿器干嘛呢?
  小编告诉您:激光干涉仪发射出的激光波长是系统测量精度的依据,但激光波长会受到其所通过的空气介质的折射率影响,影响空气折射率的因素又包括空气压力、温度及湿度,尽管这种影响比较小,但如果在进行高精度测量时,是有需要对空气折射等环境影响因素进行补偿的。虽然环境补偿单元只有一个数据生成器,外加一个空气温度探头和三个材料温度探头,如此小巧的东西却能为测量线性的精度更上一层楼,是不是觉得很奇妙呢?
 
以下是环境补偿器对空气温度、材料温度、空气湿度以及大气压力的补偿参数:
 
空气温度传感器:±0.1℃ (0-40℃)
 
材料温度传感器:±0.1℃ (0-40℃)
 
空气湿度传感器:±6% RH (0-95)%RH
 
大气压力传感器:±100Pa
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